水用電子冷熱式温調機 ペルサーモ® ETUシリーズ（水冷）
水槽内蔵チラー
概要
チラー(冷却水循環装置)は一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。
産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。
オリオンのチラーは、チラー本体と水槽やポンプの送水設備や制御系がワンパッケージ化（ユニット化）されており、
さまざまな用途と使用方法に対応します。（水槽無しタイプのユニットクーラーもあり）
パッケージ型チラーの導入で、工事費用の削減や省スペース化が可能です。
特長
電子冷熱温調機 / 水冷式 / 水槽内蔵
特注対応で±0.01℃も可能
省エネ
ペルチェ温調方式と定電流制御(電流値リニアPID制御)で、最大60%の省エネを実現。
用途
露光装置（ステッパー）
液晶ガラス基板
クロマトグラフ・X線分析機
電子顕微鏡
コータ・ディベロッパ