高精度水用温度調節機プレシジョンチラー PEC（空冷・水冷）
水槽内蔵チラー
概要
チラー(冷却水循環装置)は一定温度にコントロールした水を循環することで、熱源を冷却または温調する装置です。
産業機械、医療機械、理化学機器、食品機械など、さまざまな用途に使用されます。
オリオンのチラーは、チラー本体と水槽やポンプの送水設備や制御系がワンパッケージ化（ユニット化）されており、
さまざまな用途と使用方法に対応します。（水槽無しタイプのユニットクーラーもあり）
パッケージ型チラーの導入で、工事費用の削減や省スペース化が可能です。
特長
超省エネ、高精度制御
ヒートポンプバランス制御による超省エネと高精度制御の実現(最大80%の省エネ、温度制御精度±0.05℃)
ワイドレンジに対応した水温制御範
水温制御範囲はPEC400B1-VWの場合、10℃～60℃。
ヒータレスでワイドレンジに対応しています。
操作性の高いコントローラ
多機能かつ操作性の高いコントローラ部を採用しています。
用途
露光装置（ステッパー）
レーザー加工機
液晶ガラス基板
クロマトグラフ・X線分析機
電子顕微鏡
コータ・ディベロッパ